-
Высокоскоростные пластины SOI, кремний на изоляторе малой мощности для ИС и МЭМСКНИ-пластины, кремний-на-изоляторе, где тонкий слой кремния находится на изолирующей подложке, обеспечивают высокоскоростную работу с низким энергопотреблением за счет уменьшения емкости, тока утечки и повышения скорости переключения, что широко применяется в микроэлектронике и появляется в фотонике и МЭМС.