В последние годы, с развитием новых источников энергии и ее промышленности, кремниевые технологии привлекают все больше внимания и всегда играют важную роль в так называемой новой научно-технической революции. Одним из примеров является рынок солнечной энергии, на котором кремниевые материалы занимают более 90 процентов рынка. чтобы обеспечить свои сильные позиции в энергетической отрасли в настоящее время и в ближайшем будущем, постоянно совершенствуются кремний, такие как методы выращивания кристаллов кремния и улучшения чистоты и эффективности.

Определение термодиффузии и теплопроводности полупроводниковых материалов имеет важное значение для научных, технических и инженерных работ. Привод в солнечной промышленности заключается в повышении эффективности производимых фотоэлектрических модулей. Поскольку более высокая эффективность является прямой функцией повышенной теплопроводности, важно уметь определять эти значения.

в этом примере термостатические свойства кремниевой пластины толщиной 0,7 мм были измерены с помощью lfa 457microflash & reg; (Рисунок 1). в диапазоне температур от -100 ° С до 500 ° С теплопроводность и температуропроводность непрерывно уменьшаются. Удельную теплоемкость определяли с помощью дифференциальной сканирующей калориметрии (dsc 204 f1phoenix & reg;). стандартное отклонение точек данных составляет & lt; 1%.

Чистота кремниевых пластин, используемых в современных технологиях, является одним из важнейших параметров контроля качества. Загрязнение органикой может быть исследовано с использованием методов термического анализа, таких как tga (термогравиметрический анализ), dsc (дифференциальная сканирующая калориметрия) или анализатора выделенного газа, соединенного с tga-dsc (sta, одновременный термический анализ). Доступны несколько методов переноса в диапазоне температур от -180 ° С до 2400 ° С. они включают:

Tga, dsc или sta-ms через капиллярную связь

Tga, dsc или sta-ms viaskimmer & reg; связь

· Tga, dsc или sta-ft-ir

· Tga или sta-gc-ms

эти методы переноса могут также включать одновременное соединение ms и ft-ir с тепловым анализатором.

здесь кремниевая пластина была измерена с помощью одновременного термического анализатора sta 449 f1jupiter & reg; в сочетании с масс-спектрометром qmsaëolos & reg; масс-спектрометр.

Стационарное измерение кремниевой пластины, массовые числа m / z 15,78 и 51 коррелируют с шагом потери массы между 500 и 800 по Цельсию

кусочки измельченной кремниевой пластины (1,6 г) помещали в большой тигель из алюминия (объем 3,4 мл). образец нагревали до 800 ° С со скоростью нагрева 10 к / мин в гелии. две очень малых стадии потери массы (0,002% и 0,008%) происходят до 700 ° C из-за выделения органических компонентов.

чтобы обеспечить четкую демонстрацию, здесь представлены только массовые числа m / z 15, 51 и 78. эти массовые числа являются типичными фрагментами эпоксидной смолы для покрытия пластин.

В связи с растущей потребностью в кремниевых материалах технология экспериментального анализа быстро развивается. за последние годы кремниевые материалы значительно улучшились, и, в свою очередь, значительно расширились расходные материалы, которые, в свою очередь, анализируют устройства, что также благоприятствует другим отраслям, таким как сталелитейная, горнодобывающая, химическая и даже медицинская промышленность.